質(zhì)譜氮氣發(fā)生器主要由儲罐組件、凈化組件、氮氣緩沖系統(tǒng)、氮氧分離系統(tǒng)等四大部件組成。

　　1.儲罐組件：由空氣儲罐、安全閥、球閥等組成，其作用是保證系統(tǒng)用氣平穩(wěn)外，還可以降低壓縮空氣的出氣溫度，使壓縮空氣中水、油等雜質(zhì)隨壓縮空氣溫度的降低而分離出來，有利于延長后處理設(shè)備壽命，同時提高壓縮空氣的品質(zhì)。進而降低氣流脈動，達到緩沖作用，從而減小系統(tǒng)壓力波動，使壓縮空氣平穩(wěn)地通過壓縮空氣凈化組件，以便充分除去油水雜質(zhì)，減輕后續(xù)PSA氧氮分離裝置的負荷。同時，在吸附塔進行工作切換時，它也為PSA氧氮分離裝置提供短時間內(nèi)迅速升壓所需的大量壓縮空氣，使得吸附塔內(nèi)壓力很快上升到工作壓力，保證了設(shè)備可靠穩(wěn)定的運行。

　　2.凈化組件：由管道過濾器、精過濾器、超精過濾器、冷凍干燥機、除油器等組成，其作用是除去壓縮空氣中的塵埃、水和油，為氮氧分離系統(tǒng)提供清潔的原料。

　　提供的壓縮空氣首先要通入壓縮空氣凈化組件，壓縮空氣先由管道過濾器除去大部分的油、水、塵，再經(jīng)冷凍干燥機進一步除水、精過濾器除油、除塵，并由在緊隨其后的超精過濾器進行深度凈化。根據(jù)系統(tǒng)工況，用來防止可能出現(xiàn)的微量油滲透，為碳分子篩提供充分保護，設(shè)計嚴(yán)謹(jǐn)?shù)膬艋M件確保了碳分子篩的使用壽命。

　　3.氮氣緩沖系統(tǒng)：由緩沖罐、粉塵過濾器、流量計、氣動閥、節(jié)流閥、氮氣純度分析儀等組成。其主要作用是使氮氣壓力、純度和流量平穩(wěn)，氮氣純度分析儀可即時測出氮氣純度，并自動控制氣動閥將不合格氮氣排空。用于均衡從氮氧分離系統(tǒng)分離出來的氮氣的壓力和純度，保證連續(xù)供給氮氣穩(wěn)定。同時，在吸附塔進行工作切換后，它將本身的部分氣體回充吸附塔，一方面幫助吸附塔升壓，另外也起到保護床層的作用，在設(shè)備工作過程中起到重要的工藝輔助作用。

　　4.氮氧分離系統(tǒng)：制氮設(shè)備的主要部件，由兩個交替工作的吸附塔(塔內(nèi)裝碳分子篩)和氣動閥、節(jié)流閥、消音器等組成。根據(jù)碳分子篩對空氣中主要成分氧氣和氮氣的吸附速率不同，在加壓吸附和降壓脫附過程中實現(xiàn)氮氧分離，而加壓吸附與降壓脫附過程由可編程控制器按一定程序控制電磁閥，并由電磁閥控制相應(yīng)的氣動閥自動運行。